对MEMS扬声器的研究始于20世纪90年代末。从那时起，基于不同驱动方式的MEMS扬声器的开发取得了重大进展，特别是电磁、静电、压电驱动方面。为了实现小尺寸、高输出声压和平坦的频率响应，采取了各种材料、结构设计和制造技术。
压电MEMS扬声器的研究现状
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压电驱动具有驱动电压小、驱动力大的优点，己广泛应用于许多MEMS器件中，包括喷墨打印机头、MEMS扫描镜、超声波电机、RF谐振器、声发生器等。其中压电MEMS扬声器是重要的应用领域，受到越来越多的关注。在压电MEMS扬声器的设计与制造中，压电层的材料至关重要，影响着制造方法的选择和器件的性能。基于ZnO、AIN和PZT等不同压电材料的压电MEMS扬声器己被应用于耳机或助听器等应用中。
尽管基于各种压电薄膜的压电MEMS扬声器己经得到了一定的研究，并取得了很好的效果，但声压级输出不足和非平坦频率响应仍是这些器件面临的共同挑战。在一些压电MEMS扬声器中获得了超过90 dB的高声压级，但其测量条件要么是在耳道或人耳模拟器中测量的，要么是在谐振频率处测量的。压电MEMS扬声器需要具有宽频率范围内的高声压级(90 dB及以上)，特别是在自由场和低频范围内的高声压级，如此才能在手机、笔记本电脑、可穿戴电子产品和物联网等设备上获得更广泛的应用。